上海峰志儀器有限公司銷售的晶圓晶片表面瑕疵缺陷檢查燈，又叫硅片研磨目檢黃光燈，美國路陽從2010到現(xiàn)在一直致力于為客戶研發(fā)更適合的表面瑕疵檢查燈，近根據(jù)晶圓晶片客戶要求開發(fā)新款應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓晶片表面瑕疵檢查燈LUYOR-3318，內(nèi)置30W大功率led模組發(fā)光，可檢查出半導(dǎo)體晶圓表面1um瑕疵，瑕疵包含冗余物（如微小顆粒、灰塵、晶圓加工前一個工序的殘留物）和機(jī)械損傷。

表面檢查燈LUYOR-3318采用人眼敏感510-590NM之間波長光，為桌面式檢查燈，可檢查到1um以下的刮痕或微粒子，并且具有綠光和黃光2種顏色的復(fù)合光，幾乎可檢測出塵埃，大大降低晶圓晶片不良率。使用壽命為2萬小時以上。光源強(qiáng)度可達(dá)90000LX，小可以檢測1μ的表面臟污，比傳統(tǒng)的檢查燈，效用增強(qiáng)10倍。

紫外表面檢查燈LUYOR-3318UV是一款臺式紫外wafer晶片晶圓表面瑕疵檢查燈，高強(qiáng)度紫外線，柔性軟管支撐，可多種角度照射，可解放雙手方便各種測試; 高強(qiáng)度紫外線可細(xì)微檢測出晶圓表面各種瑕疵，紫外燈的光束輪廓非常均勻，沒有任何足跡顯示LED的陰影，黑點或其他干擾缺陷。

另外美國路陽還生產(chǎn)便攜式平行光表面檢查燈LUYOR-3320，該款表面檢查燈也可選擇黃光，綠光、白光和紫外光等多種波段，可選擇220v交流供電，也可選擇鋰電池組供電。

LUYOR-3318產(chǎn)品介紹請瀏覽：LUYOR-3318表面檢查燈

一片晶圓片表面分布數(shù)十萬單獨的晶片，在做成芯片之前，需要對晶圓片進(jìn)行相應(yīng)的缺陷檢查。美國路陽LUYOR-3318系列于晶圓片表面瑕疵缺陷檢查，以檢查晶圓片表面飛塵為例演示：

一、測量需求

晶圓片表面飛塵

二、測量步驟

1）準(zhǔn)備好晶圓片表面缺陷檢測燈調(diào)整至合適的位置

2）戴好相應(yīng)的測試裝備（手套、眼鏡）

3）手拿晶圓片開始檢測，查看表面飛塵情況，并調(diào)試燈光知道觀察效果明顯

4）做相應(yīng)的分類及記錄

如上體所示，半導(dǎo)體晶圓片缺陷檢查燈LUYOR-3318系列白光、黃光，綠光都能看好的查看晶圓片表面的飛塵，除了飛塵，也可以檢查出晶圓片表面的刮痕等缺陷。由于手機(jī)拍不出微小的瑕疵，需要查看的，可聯(lián)系上海峰志儀器有限公司或美國路陽上海公司（免費請根據(jù)網(wǎng)頁底部聯(lián)系方式聯(lián)系4006-254-365）申請樣機(jī)試用。

美國路陽從2010年專注于檢查燈的研究（我們掌握了核心技術(shù)，我們可以提供不同照度的平行燈，它們可滿足不同客戶的要求），用于晶圓片、LCD、屏幕，基材……表面瑕疵（劃痕、微塵、凹凸、油墨）檢查，精度可達(dá)到1um。