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晶圓片表面檢測(cè)燈

作者:上海峰志儀器 時(shí)間:2021-04-01 09:43:37瀏覽3368 次

信息摘要:

晶圓表面檢查燈LUYOR-3318采用人眼敏感510-590NM之間波長(zhǎng)光,來(lái)做簡(jiǎn)單與明確的判別,可檢查到1um以下的刮痕或微粒子,并且具有綠光和黃光2種顏色的復(fù)合光,幾乎可檢測(cè)出塵埃,大大降低產(chǎn)品不良率。使用壽命為2萬(wàn)小時(shí)以上。光源強(qiáng)度可達(dá)30萬(wàn)LX,可以檢測(cè)1μ的表面臟污,比傳統(tǒng)的檢查燈,效用增強(qiáng)10倍.LUYOR-3318可根據(jù)使用場(chǎng)景,使用便攜手持式或桌面式(上在底座上即可)。

晶圓片表面檢測(cè)燈半導(dǎo)體表面瑕疵檢查燈 表面檢查燈廠家 黃綠光/白光檢查燈
wafer晶圓顆粒缺陷檢查燈LUYOR-3318系列是一款黃綠光表面檢查燈(或者是白光),又叫半導(dǎo)體目檢燈,檢測(cè)燈的原理利用適合的LED燈源,通過(guò)光學(xué)鏡片折射出特殊波長(zhǎng)的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識(shí)別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點(diǎn),取代傳統(tǒng)的照明設(shè)備和光學(xué)系統(tǒng)機(jī)臺(tái),直接通過(guò)照明光線和肉眼,觀測(cè)出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵,極大的節(jié)省了一般工廠的采購(gòu)成本。 LUYOR-3318表面檢查燈采用人眼敏感510-590NM之間波長(zhǎng)光,來(lái)做簡(jiǎn)單與明確的判別,可檢查到1um以下的刮痕或微粒子,并且具有綠光和黃光2種顏色的復(fù)合光,幾乎可檢測(cè)出塵埃,大大降低產(chǎn)品不良率。使用壽命為2萬(wàn)小時(shí)以上。光源強(qiáng)度可達(dá)30萬(wàn)LX,可以檢測(cè)1μ的表面臟污,比傳統(tǒng)的表面檢查燈,效用增強(qiáng)10倍.LUYOR-3318半導(dǎo)體目檢燈可根據(jù)使用場(chǎng)景,使用便攜手持式或桌面式(上在底座上即可)。

晶圓片表面檢測(cè)燈

由于沒(méi)有閃爍并且沒(méi)有眼睛疲勞,所以電子照明方法提高了可加工性。可以自由地進(jìn)行調(diào)光,并可以選擇佳條件。通過(guò)采用柔性臂,可以自由調(diào)節(jié)光源的角度。可以在無(wú)塵室中使用。可以使用安裝支架分離光源。連續(xù)照明時(shí),燈泡壽命為10,000小時(shí)。它可以切割500 nm或更短的波長(zhǎng),并且該波長(zhǎng)不會(huì)給人眼造成負(fù)擔(dān),因此使其成為視覺(jué)檢查光源的佳波長(zhǎng)。

半導(dǎo)體晶片不管是自主加工生產(chǎn)還是外購(gòu),都要對(duì)其外表進(jìn)行缺陷瑕疵檢查,避免瑕疵品在投入使用,從而導(dǎo)致成品成為不合格產(chǎn)品。上海峰志儀器有限公司用于半導(dǎo)體晶片表面缺陷瑕疵檢查燈以及測(cè)試系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo)如下:
1、測(cè)試精度:可檢測(cè)出1um以下的缺陷瑕疵
2、光源:人眼易于察覺(jué)的綠光和黃光2種顏色的復(fù)合光
3、檢查系統(tǒng)帶工業(yè)相機(jī),可拍攝瑕疵點(diǎn)
4、樣式靈活,可手持式和桌面放置解放雙手
5、可調(diào)節(jié)燈光照射范圍

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半導(dǎo)體晶圓片缺陷檢測(cè)燈應(yīng)用

LCD濾光片、偏光板。
晶圓、半導(dǎo)體。
玻璃或是金屬表面。
上列物品的刮痕及灰塵檢查。

晶圓片表面檢測(cè)燈特點(diǎn)

特殊波長(zhǎng),主波長(zhǎng)為546、578nm知黃綠光且不傷人眼。
藉由人眼對(duì)黃綠光的高感度來(lái)檢查10um以下的刮痕或灰塵。
主機(jī)和光線部分為分離是可任意調(diào)整照射角度。
採(cǎi)用電子點(diǎn)燈方式,強(qiáng)度可任意調(diào)整
檢查精密加工表面的瑕疵、污點(diǎn)、異物等
快速無(wú)損檢測(cè)小至10微米的瑕疵、小顆粒
有效地探測(cè)出生產(chǎn)過(guò)程是早期的污物,節(jié)省生產(chǎn)時(shí)間及不必要的成本
黃色濾色片濾掉波長(zhǎng)小于500nm的光線,防止產(chǎn)生熒光干擾
高對(duì)比度的光線能清晰檢測(cè)到精細(xì)的表面粒子
燈頭人體工學(xué)設(shè)計(jì),易于操作

晶圓片表面檢測(cè)燈檢察對(duì)象

硅和玻璃晶圓、液晶濾色器、玻璃鏡頭、光罩、電影、陶瓷、圓盤、金屬表面(鋁,不銹鋼,銅等)、陰極射線管、觸摸屏、太陽(yáng)能電池、汽車、家電、建筑內(nèi)部材料、光面紙、熱轉(zhuǎn)印膜、版、電子元器件等。

表面瑕疵檢查燈利用適合的LED燈源,通過(guò)光學(xué)透鏡和濾光片折射出特殊的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識(shí)別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵。表面瑕疵檢查燈用于液晶玻璃、汽車玻璃、手機(jī)屏幕、基材、半導(dǎo)體硅晶圓片(晶圓/晶片)、柔性基板表面瑕疵檢查,這么多廠家為什么要選擇上海峰志儀器有限公司?
上海峰志儀器有限公司表面瑕疵檢查燈采用人眼敏感的光線:綠光/黃光/黃綠復(fù)合光,表面瑕疵檢查燈照射在被檢查的工件上,人眼能夠快速的檢查出瑕疵
上海峰志儀器有限公司檢查燈可檢測(cè)出1um的瑕疵(微塵、凹凸、油墨、刮痕……)
上海峰志儀器有限公司表面玻璃檢查燈每個(gè)LED前面通過(guò)添加3-4個(gè)不同的光學(xué)透鏡或鏡片,通過(guò)不同的角度、高度光學(xué)透鏡和鏡片的組合,可以按照客戶的要求人為的制造出特殊的光源,我們表面檢查燈的照度比市面上同類的檢查燈照度都要高,例如:我們公司產(chǎn)品LUYOR-3318桌面式表面檢查燈照度可以達(dá)到32000lux(45cm處)、55000lux(30cm處),可以檢測(cè)出小于1um的微粒或者刮痕,幾乎可檢測(cè)出塵埃。 上海峰志儀器有限公司根據(jù)應(yīng)用不同場(chǎng)景,提供不同的樣式,不同的供電(直流/交流)方式,訂制……服務(wù)。樣式主要有手電筒式、手持式、懸掛式、燈條式等等。

 

產(chǎn)品介紹:LUYOR-3318表面檢查燈

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